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电子束曝光技术
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电子束曝光技术
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理学
电子束曝光技术
释
electron beam lithography
电子束曝光技术
利用电子束在样品表面制造、加工图样的工艺。是纳米加工领域的关键技术。
Chemistry
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electron beam lithography
电子束曝光技术
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更新时间:2025/7/30 13:40:11