“电子束曝光”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	电子束曝光
释义	电子束曝光 Encyclopedia 工学激光加工释 electron beam lithography电子束曝光用低功率密度的电子束照射涂有感光胶的晶片，通过直接描画或投影复印图像技术产生图形的一种微细加工技术。
随便看	簇发放电簇合物簇合物化学簇同构簇定义域簇射簇射斑大小簇射电子簇射粒子簇射计数器簇展开簇式传播簇态簇态射簇放射性簇有机骨架簇束簇格簇生叶簇生的簇的亏格簇的函数域簇的次数簇的正规化簇的理想

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