“电子束曝光”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	电子束曝光
释义	电子束曝光 Encyclopedia 工学激光加工释 electron beam lithography电子束曝光用低功率密度的电子束照射涂有感光胶的晶片，通过直接描画或投影复印图像技术产生图形的一种微细加工技术。
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