“电子束刻蚀仪”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	电子束刻蚀仪
释义	电子束刻蚀仪 Encyclopedia 工学制样/消解设备释 electron beam lithography equipment电子束刻蚀仪利用电子束加工微观结构的设备。
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