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单词 电子束光刻
释义
电子束光刻

Encyclopedia

  • 工学磁致动器
    electron beam lithography电子束光刻
    利用聚焦的加速电子束在涂有抗蚀剂的铬板或者半导体基片上进行微纳米结构图形制备的工艺。

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