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电子束光刻
释义
电子束光刻
Encyclopedia
工学
磁致动器
释
electron beam lithography
电子束光刻
利用聚焦的加速电子束在涂有抗蚀剂的铬板或者半导体基片上进行微纳米结构图形制备的工艺。
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更新时间:2024/9/30 1:47:32