“电子束光刻”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	电子束光刻
释义	电子束光刻 Encyclopedia 工学磁致动器释 electron beam lithography电子束光刻利用聚焦的加速电子束在涂有抗蚀剂的铬板或者半导体基片上进行微纳米结构图形制备的工艺。
随便看	平面球形图平面电机平面电磁波平面电磁波的反射和折射平面的平面的对合平面的旋转平面的极点平面的次数平面的法线平面的覆叠平面磨削平面磨床平面移动类机械式停车设备平面空图平面筛平面系统平面线场平面结平面网平面群平面色谱平面蜗卷弹簧平面裁剪平面规

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