“牺牲层工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	牺牲层工艺
释义	牺牲层工艺 Encyclopedia 工学【半导体工艺技术】释牺牲层工艺用于制备微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS）悬空结构的表面微加工工艺。
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