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单词
牺牲层工艺
释义
牺牲层工艺
Encyclopedia
工学
【半导体工艺技术】
释
牺牲层工艺
用于制备微电子机械系统(micro-electromechanical system; MEMS)悬空结构的表面微加工工艺。
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更新时间:2025/7/5 17:55:45