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物理气相沉积
Encyclopedia
工学物理气相沉积释
physical vapor deposition物理气相沉积
在真空条件下，采用物理方法使固体或液体材料源气化成原子、分子或部分电离成离子，通过气相过程在衬底上沉积一层具有某种特殊功能的薄膜技术。
工学表面技术释
physical vapor deposition 物理气相沉积
在真空条件下，利用蒸发或溅射等物理方法将材料气化成原子、分子或电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程在基体上沉积一层具有特殊功能薄膜的技术。简称PVD。
理学晶体生长技术释
physical vapor deposition物理气相沉积
一种晶体、薄膜的生长方法。
Physics
Chemistry
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