“热蒸发”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	热蒸发
释义	热蒸发 Encyclopedia 工学半导体薄膜制备释 heat evaporation热蒸发在真空室内采用加热的方式蒸发放置在坩埚中的固体材料（镀料），蒸发出来的原子或分子可以自由地扩散到真空室的室壁或在镀件表面形成薄膜的技术。
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