“热化学气相沉积”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	热化学气相沉积
释义	热化学气相沉积 Encyclopedia 工学化学气相沉积释 thermochemical vapour deposition热化学气相沉积用热能激活所需气体或者气固相之间的反应从而形成一层薄膜的技术。简称热CVD、TCVD。
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