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单词 热化学气相沉积
释义
热化学气相沉积

Encyclopedia

  • 工学化学气相沉积
    thermochemical vapour deposition热化学气相沉积
    用热能激活所需气体或者气固相之间的反应从而形成一层薄膜的技术。简称热CVD、TCVD。

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