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热化学气相沉积
释义
热化学气相沉积
Encyclopedia
工学
化学气相沉积
释
thermochemical vapour deposition
热化学气相沉积
用热能激活所需气体或者气固相之间的反应从而形成一层薄膜的技术。简称热CVD、TCVD。
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更新时间:2025/7/26 4:21:17