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单词 激光直写光刻
释义
激光直写光刻

Encyclopedia

  • 工学光刻技术
    direct laser lithography激光直写光刻
    利用强度可变的激光束对基片表面的抗刻蚀材料进行曝光,显影后在抗蚀层形成所需图形的过程。

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