“激光干涉触针式轮廓仪”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	激光干涉触针式轮廓仪
释义	激光干涉触针式轮廓仪 Encyclopedia 工学光纤陀螺惯性导航释 laser-interference stylus profilometer激光干涉触针式轮廓仪利用迈克尔逊干涉测长原理测量触针位移的轮廓仪。
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