“激光干涉仪几何量测量”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	激光干涉仪几何量测量
释义	激光干涉仪几何量测量 Encyclopedia 工学激光干涉仪几何量测量释 Geometric measurement of laser interferometer激光干涉仪几何量测量激光干涉仪主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来做线性位置、速度、角度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
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