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激光剥离
释义
激光剥离
Encyclopedia
工学
发光二极管芯片工艺
释
laser life off
激光剥离
在发光二极管芯片工艺中,分离蓝宝石衬底和氮化镓(GaN)外延层的技术。是垂直结构以及倒装薄膜结构发光二极管芯片工艺的重要制程。
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更新时间:2025/1/13 4:39:44