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溅射镀膜
释义
溅射镀膜
Encyclopedia
工学
物理气相沉积
释
sputtering deposition
溅射镀膜
利用高能量离子轰击靶材表面使靶材以原子或离子的粒子形式飞溅出来,沉积于工件表面形成薄膜的一种物理气相沉积技术。
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更新时间:2025/7/3 12:36:29