“溅射镀膜”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	溅射镀膜
释义	溅射镀膜 Encyclopedia 工学物理气相沉积释 sputtering deposition溅射镀膜利用高能量离子轰击靶材表面使靶材以原子或离子的粒子形式飞溅出来，沉积于工件表面形成薄膜的一种物理气相沉积技术。
随便看	相容方向相容方法相容方程相容方程组相容映射相容条件相容核相容求和法相容测度相容理论相容的相容矩阵范数相容等价关系相容系相容系数相容系统相容结构相容联络相容范数相容规划相容解相容质量格式相容过程相容运算相容选择

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