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溅射铣蚀
释义
溅射铣蚀
Encyclopedia
工学
刻蚀工艺
释
sputter etching and milling
溅射铣蚀
在集成电路制造中,利用低气压下惰性气体辉光放电所产生的离子,经加速后入射到薄膜表面,使裸露的薄膜被溅射而除去的技术。
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更新时间:2025/7/24 10:10:45