“溅射工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	溅射工艺
释义	溅射工艺 Encyclopedia 工学溅射工艺释 sputtering technique溅射工艺以一定能量的粒子（离子或中性原子、分子）轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够的能量而逸出靶材表面并沉积在衬底上的工艺。
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