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单词 湿法异向刻蚀
释义
湿法异向刻蚀

Encyclopedia

  • 工学磁致动器
    wet anisotropic etching湿法异向刻蚀
    某些腐蚀剂对硅不同晶面的腐蚀具有不同的腐蚀速率,基于这种腐蚀特性,可在硅衬底上加工出各种各样的微结构的加工技术。是硅基微机械电子系统应用中一种重要的加工技术。

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