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深硅刻蚀
释义
深硅刻蚀
Encyclopedia
工学
刻蚀工艺
释
deep silicon etching
深硅刻蚀
在集成电路制造中,选用硅(Si)作为刻蚀微结构加工对象的深等离子体刻蚀技术。又称大深宽比刻蚀或先进硅刻蚀。
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更新时间:2025/3/1 19:36:36