“深度反应离子刻蚀”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	深度反应离子刻蚀
释义	深度反应离子刻蚀 Encyclopedia 工学磁致动器释 deep reactive ion etching; DRIE深度反应离子刻蚀基于氟基气体的高深宽比硅刻蚀技术。
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