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注入氧隔离
释义
注入氧隔离
Encyclopedia
工学
区熔法晶体生长
释
separate by implant oxygen;SIMOX
注入氧隔离
制备绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)衬底时所使用的工艺技术。
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更新时间:2025/7/7 7:47:51