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氦离子束扫描电镜
释义
氦离子束扫描电镜
Encyclopedia
工学
〔非常规油气实验测试技术〕
释
helium ion beam scanning electron microscope
氦离子束扫描电镜
通过聚焦离子束(He离子束)的连续切割和电子束的实时成像,用于纳米结构分析和纳米材料加工的仪器。
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更新时间:2025/7/25 13:43:58