“氦离子束扫描电镜”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	氦离子束扫描电镜
释义	氦离子束扫描电镜 Encyclopedia 工学〔非常规油气实验测试技术〕释 helium ion beam scanning electron microscope氦离子束扫描电镜通过聚焦离子束（He离子束）的连续切割和电子束的实时成像，用于纳米结构分析和纳米材料加工的仪器。
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