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氢化物气相外延设备
释义
氢化物气相外延设备
Encyclopedia
工学
半导体照明装备
释
hydride vapor phase epitaxy equipment
氢化物气相外延设备
在外延生长所需的化学组分中,至少采用一种氢化物的气相外延设备。
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更新时间:2026/7/1 11:39:40