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单词 氢化物气息外延
释义
氢化物气息外延

Encyclopedia

  • 工学固态光源
    hydride vapor phase epitaxy; HVPE氢化物气息外延
    氢化物气相外延方法是一种化学方法,利用Ⅲ族元素的氯化物和V族元素的氢化物在高温的衬底表面进行反应来制备薄膜。

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