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气隙互连
释义
气隙互连
Encyclopedia
工学
金属互连工艺
释
air gap interconnect
气隙互连
集成电路制造中,在相邻互连线之间引入空气间隙,从而最大限度地减小介质层的等效介电常数的技术。
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更新时间:2024/10/1 10:02:29