“气隙互连”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	气隙互连
释义	气隙互连 Encyclopedia 工学金属互连工艺释 air gap interconnect气隙互连集成电路制造中，在相邻互连线之间引入空气间隙，从而最大限度地减小介质层的等效介电常数的技术。
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