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单词 气相外延
释义
气相外延

Encyclopedia

  • 工学半导体外延生长
    vapor phase epitaxy气相外延
    反应物通过气相输运,并在气相中或衬底表面进行化学反应,然后生长出晶体粒子,以薄膜形式在衬底上进行外延的半导体外延生长技术。简称VPE。

  • 理学〔半导体材料〕
    vapour phase epitaxy; VPE气相外延
    一种广义上的生长单晶薄膜材料的工艺方法。

Physics

  • 凝聚态物理学结构
    vapor phase epitaxy气相外延

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