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单词 极紫外光刻技术
释义
极紫外光刻技术

Encyclopedia

  • 工学光刻技术
    extreme ultraviolet lithography technology极紫外光刻技术
    集成电路制造中,以波长为13.5纳米的极紫外光作为曝光光源的光刻技术。

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