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单词 智能切割工艺
释义
智能切割工艺

Encyclopedia

  • 工学区熔法晶体生长
    smart cut technology智能切割工艺
    在低温条件下,综合直接键合与离子注入方法制备绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)衬底的工艺技术。

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