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单词 晕环注入
释义
晕环注入

Encyclopedia

  • 工学离子注入工艺
    halo implant晕环注入
    在集成电路制造中,通过大角度倾斜注入(largeangle tiled implant,LATI)与衬底相同类型的掺杂离子,在源漏区和衬底之间形成晕环(Halo)结构高掺杂区的技术。

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