“cleanroom”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	cleanroom
释义	cleanroom Encyclopedia 工学集成电路工艺释 cleanroom净化间空气悬浮粒子浓度受控的房间。又称洁净室。工学洁净室释 cleanroom洁净室空气洁净度达到规定级别的、相关参数也受控的、可供人活动的房间。
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