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掠入射调焦调平测量
释义
掠入射调焦调平测量
Encyclopedia
工学
光刻机测量系统
释
glancing incidence
掠入射调焦调平测量
以三角测量原理为基础的垂向测量方法,其通常采用双远心成像系统,并以较大的入射角在被测物表面成像。
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更新时间:2025/2/12 14:16:05