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扫描电子显微术
释义
扫描电子显微术
Encyclopedia
工学
[电子显微术]
释
scanning electron microscopy
扫描电子显微术
以能量为0.240千电子伏的电子束作为微束激发源(又称一次束),以光栅状扫描方式照射到试样的表面上,通过对入射电子和试样表面物质的相互作用所产生的各种信息(又称二次束)的检测,以实现对有关微区的形态、成分和结晶学等的分析技术。全称为扫描电子显微分析术。
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更新时间:2025/11/26 7:49:40