“微麦克风”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微麦克风
释义	微麦克风 Encyclopedia 工学微纳器件释 MEMS Microphone微麦克风利用微机电系统技术制造的微米或纳米量级的声学传感器。工学微麦克风释 micro-electromechanical system microphone微麦克风采用微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS）处理技术将压敏振膜直接蚀刻到硅晶片中，通常集成了前置放大器的能量转换器件。又称MEMS麦克风，简称硅麦。
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