“微纳米机电系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微纳米机电系统
释义	微纳米机电系统 Encyclopedia 理学微纳米机电系统释 micro/nano electromechanical system; MEMS/NEMS微纳米机电系统在微米/纳米尺度内设计和制造、集成多种元件, 构建能显示微米/纳米级结构新效应的器件和系统。
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