“微/纳机电系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微/纳机电系统
释义	微/纳机电系统 Encyclopedia 工学微纳机电系统释 micro/nano electromechanical system; M/NEMS微/纳机电系统利用微/纳制造技术加工出的各种微/纳结构和器件的系统。
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