“微纳机电一体化”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微纳机电一体化
释义	微纳机电一体化 Encyclopedia 工学机电一体化释 micro/nano mechatronic微纳机电一体化微纳机电系统（MEMS/NEMS）将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他微加工工艺，制作到芯片上，并通过与电路相互之间的高度集成来构筑复杂的微型系统。
随便看	闭形式数闭形式表示闭形式解闭循环闭循环控制闭循环系统闭微分闭微分关系闭微分域闭微分式闭微分形式闭态射闭性闭扩张闭折线闭拓扑闭拓扑流形闭排系统闭无界子集闭[时]路格林函数闭时路格林函数闭星形闭映射闭曲线闭曲线问题

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