“微电子材料”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微电子材料
释义	微电子材料 Encyclopedia 工学微电子材料释 microelectronic materials微电子材料以微纳电子元器件为核心的集成电路制备过程中所涉及的相关材料。
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