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微电子机械系统物理传感器
释义
微电子机械系统物理传感器
Encyclopedia
工学
微电子机械系统
释
micro-electromechanical system physical sensor
微电子机械系统物理传感器
采用微电子和微机械加工技术制造出来的,能把各种物理量转变成便于处理的电信号的传感器件。
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更新时间:2025/7/3 23:01:54