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微电子机械系统声波传感器
释义
微电子机械系统声波传感器
Encyclopedia
工学
微电子机械系统
释
micro-electromechanical system acoustic wave sensor
微电子机械系统声波传感器
通过微机电加工技术制造的声波传感器。
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更新时间:2024/12/25 16:02:03