“微电子机械系统光调制器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微电子机械系统光调制器
释义	微电子机械系统光调制器 Encyclopedia 工学微电子机械系统光传感器释 micro-electromechanical system light modulator微电子机械系统光调制器基于微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS），使光波的某一参量随调制信号变化，从而将信息载在光波上的器件。
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