“微电子机械系统光传感器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微电子机械系统光传感器
释义	微电子机械系统光传感器 Encyclopedia 工学微电子机械系统光传感器释 micro-electromechanical system optical sensor微电子机械系统光传感器基于微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS），利用光学方法将被测量转换成光学量或电学量传输出去的传感器。
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