“微电子机械系统专用集成电路”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微电子机械系统专用集成电路
释义	微电子机械系统专用集成电路 Encyclopedia 工学微电子机械系统释 micro-electromechanical system application specific integrated circuit微电子机械系统专用集成电路采用标准互补金属氧化物半导体（complementary metal oxide semiconductor; CMOS）工艺制作，通过金属压焊线将敏感结构和电路连接起来，专为微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS）器件设计的接口电路。
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