| 释义 |
微电子机械系统
Encyclopedia
工学封装技术释
micro-electromechanical system;MEMS微电子机械系统
借助半导体制造技术加工微米尺度的微传感器、微执行器等器件，与集成电路相结合，形成信号处理与控制、机电、机械、传感集成一体化的智能系统。
理学〔半导体器件〕释
micro-electro-mechanical system; MEMS微电子机械系统
集成了微机构、微传感器、微执行器及信号处理控制等功能于一体的系统。
Physics
凝聚态物理学特殊物相与极端条件
micro-electromechanical system, MEMS微电子机械系统
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波长选择器wavelength selector
MEMS微电子机械系统
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