“微波等离子体化学气相沉积”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微波等离子体化学气相沉积
释义	微波等离子体化学气相沉积 Encyclopedia 工学化学气相沉积释 microwave plasma chemical vapor deposition; MPCVD微波等离子体化学气相沉积用微波放电产生等离子体进行化学气相沉积的方法。
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