“微机电系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微机电系统
释义	微机电系统 Encyclopedia 工学微机电系统释 micro electron-mechanical system；MEMS微机电系统尺寸在微米量级到亚微米量级，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。全称微电子机械系统。
随便看	含时薛定谔波动方程含时金兹堡-朗道方程含时金兹堡朗道方程含晶异细胞含晶细胞含有气腔的含有铝氧及铁氧的含杂质的含杂质的层状灰岩含气三极管含气泡体含气泥页岩层段含氚化合物含氚废物含氟中间体含氟废气吸收剂含氟精细化学品含氟高分子含氢正比计数器含氢硅油含氢载体制氢含氧有机化合物含氧有机污染物含氧燃料含氧盐矿物

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