“微机电惯性传感器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微机电惯性传感器
释义	微机电惯性传感器 Encyclopedia 工学惯性测量单元释 MEMS inertial sensor微机电惯性传感器采用微机电（MEMS）技术加工的一类惯性传感器，是MEMS器件的重要分支。
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