“微机械惯性传感器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微机械惯性传感器
释义	微机械惯性传感器 Encyclopedia 工学惯性导航释 micro-electro-mechanical system inertial sensor; MEMS inertial sensor微机械惯性传感器以集成电路和微机械加工工艺为基础的惯性传感器。工学〔惯性仪表〕释 micro-electromechanical system inertial sensor微机械惯性传感器集微型精密机械、微电子学、半导体集成电路工艺等技术于一身的惯性器件。又称微机电惯性仪表。
随便看	图的分支图的分解图的切除图的割图的厚度图的合成图的同构图的围长图的型图的复合图的定向图的实现图的密度图的对称差图的幂图的并图的强积图的收缩图的枚举图的树图的桥图的次数图的特征值图的特征向量图的特征多项式

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