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微机械惯性传感器
释义
微机械惯性传感器
Encyclopedia
工学
惯性导航
释
micro-electro-mechanical system inertial sensor; MEMS inertial sensor
微机械惯性传感器
以集成电路和微机械加工工艺为基础的惯性传感器。
工学
〔惯性仪表〕
释
micro-electromechanical system inertial sensor
微机械惯性传感器
集微型精密机械、微电子学、半导体集成电路工艺等技术于一身的惯性器件。又称微机电惯性仪表。
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更新时间:2025/7/29 21:23:37