“微执行器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	微执行器
释义	微执行器 Encyclopedia 工学微纳器件释 micro actuators微执行器尺度或运动精度在1～100微米的把能量转化为力和运动的微机械部件或器件。理学微纳米机电系统释 micro-actuator微执行器微机电系统（MEMS）、微流控系统及微机械人等微系统中的重要核心部分。
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