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平坦化工艺
释义
平坦化工艺
Encyclopedia
工学
平坦化工艺
释
planarization process
平坦化工艺
在集成电路制造中,为了克服沟槽填充、台阶覆盖、大的高低起伏带来的问题而采用的技术。
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更新时间:2025/4/6 11:19:57