“干法刻蚀”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	干法刻蚀
释义	干法刻蚀 Encyclopedia 工学干法刻蚀释 dry etching干法刻蚀通过物理和化学方法相结合去除被刻蚀薄膜的技术。工学磁致动器释 dry etching干法刻蚀利用气体或等离子体与材料表面反应形成挥发性物质，或直接轰击材料表面使之被去除的一种可控的工艺过程。
随便看	可约矩阵集可约积分可约空间可约算子可约簇可约系统可约纤维丛可约线性系统可约维尔玛模可约表示可约解析集可约语言可约连续几何可约链可约阿贝尔积分可约集可约非负矩阵可约项可约马尔可夫链可约黎曼空间可纺性可线性化函数可线性化方程可线性化的可组合性

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