“常压化学气相沉积”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	常压化学气相沉积
释义	常压化学气相沉积 Encyclopedia 工学化学气相淀积工艺释 air pressure chemical vapor deposition; APCVD常压化学气相沉积在压力接近常压下进行化学气相沉积（chemical vapor deposition; CVD）反应的一种沉积技术。
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