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局域表面等离子体光刻
释义
局域表面等离子体光刻
Encyclopedia
工学
等离子体光刻
释
localized surface plasmonic lithography
局域表面等离子体光刻
利用局域表面等离子体谐振的光场局域和增强效应,实现超分辨纳米图形制备的等离子体光刻技术。
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更新时间:2025/3/14 15:54:37